Primo SSC AD-RIE ? 是BBIN视讯-娱乐游戏官网於2013年推出的单眼應臺電介質刻蝕產品，，，，，在Primo AD-RIE ? 產品技術和Primo平臺看法的基礎上，，，，，通過在一個平臺上集成六個單反應臺以優化產能。。。。。。。 除了可獨立輸運氣體的单眼應臺腔體設計以外，，，，，為應對2x納米以下特別是接觸孔刻蝕等關鍵制程的挑戰，，，，，該設備還具有以下特征：同步脈衝射頻系統、可冷卻聚焦環工藝組件和甚低壓氣體抽運系統等。。。。。。。 Primo SSC AD-RIE有利於處理多層薄膜刻蝕的微負載問題、極端邊緣形貌問題以及接觸孔刻蝕的終端控制問題。。。。。。。 Primo SSC AD-RIE已在主流客戶16納米晶片生產線上穩定量產。。。。。。。