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Preforma Uniflash?TaN是BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研發的12英寸原子層沈積產品,,,,,可滿足邏輯器件和存儲器件多個應用需求。。。。 。。該產品繼承BBIN视讯-娱乐游戏官网獨特的雙反應臺設計,,,,,系統可靈活设置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),可以達到業界領先的生產率,,,,,也可以根據客戶產能實現靈活设置的需求。。。。 。。該產品接纳BBIN视讯-娱乐游戏官网自主開發的溫度控制系統設計,,,,,多區流道設計,,,,,多源供應系統設計和可實現高速氣體置換效率的腔室設計,,,,,可滿足先進邏輯和存儲客戶性能需求的同時,,,,,設備的汙染物控制,,,,,薄膜均壹性,,,,,生產效率均達到天下先進水平。。。。 。。

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Preforma Uniflash? TaN

BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研發的12英寸原子層沈積產品,,,,,可滿足邏輯器件和存儲器件多個應用需求。。。。 。。

产品特点

雙反應臺及多達五個反應腔的高真空系統設計

獨特的溫度控制系統設計

多區流道設計

多源供應系統設計

竞争优势

高生產效率,,,,,低生產本钱(CoO)

優異的汙染物控制

更好的薄膜均壹性和薄膜間均壹性

每個維護周期的晶圓數目大大增添

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