

作為BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主研發的具備三維填充能力的12英寸原子層金屬鎢沈積設備,,,,,,,,Preforma Uniflex?AW繼承了鎢系列產品的特點,,,,,,,,可设置五個雙反應臺反應腔,,,,,,,,有用提高設備生產效率。。。。。。。别的,,,,,,,,系統中每個反應腔均可用於形核和主體膜層生長,,,,,,,,可根據客戶實際工藝需求優化设置,,,,,,,,進壹步提高生產中的設備使用率。。。。。。。Preforma Uniflex?AW接纳完全自主知識產權的高速氣體切換控制系統,,,,,,,,可精準控制工藝過程,,,,,,,,實現精準的原子級別生長,,,,,,,,因此所生長膜層具備優異的臺階覆蓋率和低雜質濃度的優點。。。。。。。Preforma Uniflex?AW還引入獨特的氣體輸送系統,,,,,,,,進壹步提升性能,,,,,,,,使該設備具備更先進技術節點的延展能力。。。。。。。該設備也繼承了BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主開發的流場熱場優化設計,,,,,,,,從而提升薄膜均壹性和工藝調節靈活性。。。。。。。

可设置五個雙反應臺反應腔,,,,,,,,有用提高設備生產效率。。。。。。。
雙反應臺及多達五個反應腔的系統
獨立緊湊的反應空間
BBIN视讯-娱乐游戏官网專利的氣體切換系統
高效靈活的工藝調節窗口
自主設計的真空卡盤加熱臺
高生產效率,,,,,,,,低生產本钱,,,,,,,,低化學品消耗
優秀的薄膜均壹性和工藝穩定性
優秀的三維結構及復雜結構填充性能
對彎曲度較大的晶圓也具有优异的工藝處理能力