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作為BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主研發的產出效率高且性能優秀的12英寸CVD金屬鎢設備,,,,,, ,Preforma Uniflex?CW可靈活设置多達五個雙反應臺的反應腔,,,,,, ,每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓,,,,,, ,在保證較低的生產本钱和化學品消耗的同時,,,,,, ,實現較高的生產效率。。。。。。。Preforma Uniflex?CW配備了完全擁有自主知識產權的優化混氣计划,自主設計優化的分氣抽氣系統和真空卡盤,,,,,, ,具有優秀的薄膜均壹性、填充能力和工藝調節靈活性,,,,,, ,對於彎曲度較大的晶圓,,,,,, ,它也具備优异的工藝處理能力。。。。。。。並且其優異的階梯覆蓋率和填充能力,,,,,, ,可以滿足先進邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應用需求。。。。。。。

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Preforma Uniflex? CW

為邏輯和存儲芯片中金屬鎢填充提供的高性價比的解決计划

產品特點

雙反應臺及多達五個反應腔的系統

獨立小巧的反應空間

高效靈活的工藝調節窗口

自主知識產權的優化混氣计划

自主設計的優化氣體分派的抽氣系統

自主設計的優化真空卡盤的加熱臺

競爭優勢

高生產效率,,,,,, ,低生產本钱,,,,,, ,低化學品消耗

優秀的薄膜均一性和填充能力

優秀的工藝適應性和兼容性

對彎曲度較大的晶圓也具有优异的工藝處理能力

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