

Preforma Uniflash?TiAl是BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研發的12英寸原子層沈積產品,,,,,可滿足先進邏輯器件金屬柵應用需求。。。。。。。。該產品繼承BBIN视讯-娱乐游戏官网獨特的雙反應臺設計,,,,,系統可靈活设置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),可有用滿足高真空工藝集成需求的同時,,,,,可以達到業界領先的生產率。。。。。。。。該產品接纳BBIN视讯-娱乐游戏官网自主開發的溫度控制系統設計,,,,,獨特的外貌處理技術,,,,,多區氣體漫衍系統設計和基於模子算法的加熱系統設計等,,,,,可滿足先進邏輯客戶性能需求的同時,,,,,設備的汙染物控制,,,,,薄膜均壹性,,,,,生產效率均達到天下先進水平。。。。。。。。

BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研發的12英寸原子層沈積產品,,,,,可滿足先進邏輯器件金屬柵應用需求。。。。。。。。
雙反應臺及多達五個反應腔的高真空系統設計
獨特的溫度控制系統設計
多區氣體漫衍系統設計
基於模子控制的加熱系統設計
高生產效率,,,,,低生產本钱(CoO)
優異的汙染物控制
更好的薄膜均壹性和薄膜間均壹性
每個維護周期的晶圓數目大大增添