BBIN视讯-娱乐游戏官网

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Preforma Uniflash?TiAl是BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研發的12英寸原子層沈積產品 , ,,,,可滿足先進邏輯器件金屬柵應用需求。。 。。。。。 。該產品繼承BBIN视讯-娱乐游戏官网獨特的雙反應臺設計 , ,,,,系統可靈活设置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),可有用滿足高真空工藝集成需求的同時 , ,,,,可以達到業界領先的生產率。。 。。。。。 。該產品接纳BBIN视讯-娱乐游戏官网自主開發的溫度控制系統設計 , ,,,,獨特的外貌處理技術 , ,,,,多區氣體漫衍系統設計和基於模子算法的加熱系統設計等 , ,,,,可滿足先進邏輯客戶性能需求的同時 , ,,,,設備的汙染物控制 , ,,,,薄膜均壹性 , ,,,,生產效率均達到天下先進水平。。 。。。。。 。

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Preforma Uniflash? TiAl

BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研發的12英寸原子層沈積產品 , ,,,,可滿足先進邏輯器件金屬柵應用需求。。 。。。。。 。

产品特点

雙反應臺及多達五個反應腔的高真空系統設計

獨特的溫度控制系統設計

多區氣體漫衍系統設計

基於模子控制的加熱系統設計

竞争优势

高生產效率 , ,,,,低生產本钱(CoO)

優異的汙染物控制

更好的薄膜均壹性和薄膜間均壹性

每個維護周期的晶圓數目大大增添

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