Primo UD-RIE^?是BBIN视讯-娱乐游戏官网公司基于完全自主的知识产权开发的12英寸高端电容耦合等离子体（CCP）刻蚀机。。。。。。。针对存储器件制造中最要害的高深宽比介质刻蚀工艺，，，，，，，， Primo UD-RIE^? 配备了具备多级脉冲功效的超低频大功率射频系统，，，，，，，，有用提高离子能量和准直性；；；；；；强化了上电极冷却和加热设计，，，，，，，，并接纳耐高击穿电压的静电吸盘知足大射频功率下的工艺需求；；；；；；可实现实时温度切换和分区冷却的下电极在扩大工艺窗口的同时提升晶圆边沿刻蚀体现；；；；；； 优化的腔体涂层适配新型侵蚀性刻蚀气体，，，，，，，，有用扩大工艺窗口。。。。。。。 Primo UD-RIE^? 还配备了BBIN视讯-娱乐游戏官网公司首创的自动边沿阻抗调理系统，，，，，，，，突破了古板的晶圆边沿等离子体壳层的调理方法，，，，，，，，极大地提升了装备的量产性能。。。。。。。Primo UD-RIE^?可设置最多六个单反应台刻蚀反应腔和两个去胶反应腔，，，，，，，，为高深宽比刻蚀提供无邪的解决计划。。。。。。。 Primo UD-RIE^? 在存储器件制造中的高深宽比深孔及沟槽刻蚀上体现优异，，，，，，，，已经在先进生产线实现大规模量产。。。。。。。