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BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,,可知足先进逻辑器件金属栅应用需求。。。。。
双反应台及多达五个反应腔的高真空系统设计
奇异的温度控制系统设计
多区气体漫衍系统设计
基于模子控制的加热系统设计
高生产效率,,,,,,,,低生产本钱(CoO)
优异的污染物控制
更好的薄膜均一性和薄膜间均一性
每个维护周期的晶圆数目大大增添

