BBIN视讯-娱乐游戏官网

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作为BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主研发的具备三维填充能力的12英寸原子层金属钨沉积装备,,, ,,,,Preforma Uniflex? AW继续了钨系列产品的特点,,, ,,,,可设置五个双反应台反应腔,,, ,,,,有用提高装备生产效率 。。。。。别的,,, ,,,,系统中每个反应腔均可用于形核和主体膜层生长,,, ,,,,可凭证客户现实工艺需求优化设置,,, ,,,,进一步提高生产中的装备使用率 。。。。。Preforma Uniflex? AW接纳完全自主知识产权的高速气体切换控制系统,,, ,,,,可精准控制工艺历程,,, ,,,,实现精准的原子级别生长,,, ,,,,因此所生长膜层具备优异的台阶笼罩率和低杂质浓度的优点 。。。。。Preforma Uniflex? AW还引入奇异的气体运送系统,,, ,,,,进一步提升性能,,, ,,,,使该装备具备更先进手艺节点的延展能力 。。。。。该装备也继续了BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主开发的流场热场优化设计,,, ,,,,从而提升薄膜均一性和工艺调理无邪性 。。。。。

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Preforma Uniflex? AW

可设置五个双反应台反应腔,,, ,,,,有用提高装备生产效率 。。。。。

产品特点

双反应台及多达五个反应腔的系统

自力紧凑的反应空间

BBIN视讯-娱乐游戏官网专利的气体切换系统

高效无邪的工艺调理窗口

自主设计的真空卡盘加热台

竞争优势

高生产效率,,, ,,,,低生产本钱,,, ,,,,低化学品消耗

优异的薄膜均一性和工艺稳固性

优异的三维结构及重大结构填充性能

对弯曲度较大的晶圆也具有优异的工艺处置惩罚能力

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