Primo SSC AD-RIE^?是BBIN视讯-娱乐游戏官网于2013年推出的单反应台电介质刻蚀产品，，，，，，，，在Primo AD-RIE^?产品手艺和Primo平台看法的基础上，，，，，，，，通过在一个平台上集成六个单反应台以优化产能。。。。。。。。除了可自力输运气体的单反应台腔体设计以外，，，，，，，，为应对2x纳米以下特殊是接触孔刻蚀等要害制程的挑战，，，，，，，，该装备还具有以下特征：同步脉冲射频系统、可冷却聚焦环工艺组件和甚低压气体抽运系统等。。。。。。。。Primo SSC AD-RIE有利于处置惩罚多层薄膜刻蚀的微负载问题、极端边沿形貌问题以及接触孔刻蚀的终端控制问题。。。。。。。。Primo SSC AD-RIE已在主流客户16纳米芯片生产线上稳固量产。。。。。。。。