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BBIN视讯-娱乐游戏官网公司将宣布新一代等离子刻蚀装备

2012-10-01

今年IC China（一年一度在上海举行的业内着名半导体展会和论坛）展会时代，，，，，，，，先进的装备制造商 -- BBIN视讯-娱乐游戏官网半导体装备（上海）有限公司（以下简称“BBIN视讯-娱乐游戏官网公司”），，，，，，，，将于本周三在上海世博展览馆，，，，，，，，就其设计立异、手艺领先的新一代刻蚀装备产品举行新闻宣布会。。。。。。。届时，，，，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网公司董事长兼首席执行官尹志尧博士将先容公司产品开发的最新希望；；；；；；；；BBIN视讯-娱乐游戏官网公司资深手艺专家将在会上先容公司研发部分开发乐成的两款新一代刻蚀装备。。。。。。。

新装备中的第一款是Primo SSC AD-RIE（“单反应器甚高频去耦合反应离子介质刻蚀机”），，，，，，，，可应用于先进的存储芯片和逻辑芯片的加工生产，，，，，，，，包括2x纳米及1x纳米代高深宽比接触孔刻蚀、沟槽及接触孔刻蚀、串行刻蚀（在单反应器中实现多步操作）。。。。。。。Primo SSC AD-RIE拥有奇异的立异设计，，，，，，，，能够在工艺控制方面实现亘古未有的无邪性，，，，，，，，并能资助芯片生产商在确保芯片加工质量的同时抵达更高的产出效率。。。。。。。

另一款，，，，，，，，12英寸硅通孔刻蚀装备Primo TSV300E?，，，，，，，，拓展了原有的8英寸硅刻蚀产品Primo TSV200E?的能力，，，，，，，，可用于多种硅深孔及深槽刻蚀。。。。。。。公司的8英寸硅通孔刻蚀装备Primo TSV200E?获得业界认可，，，，，，，，已被亚洲众多客户用于先进系统封装、2.5维封装和微机电系统芯片的生产。。。。。。。BBIN视讯-娱乐游戏官网第一台Primo TSV300E?装备已在海内领先的晶圆封装厂运转。。。。。。。

这两种装备强化了BBIN视讯-娱乐游戏官网公司产品结构，，，，，，，，为全球芯片生产商应对半导体工艺的挑战提供了更多、更新、更好的解决计划。。。。。。。

BBIN视讯-娱乐游戏官网公司董事长兼首席执行官尹志尧以为，，，，，，，，IC China是一个极有价值的平台，，，，，，，，很是适合新手艺产品宣布。。。。。。。他体现：“作为中国起步较早的半导体展会，，，，，，，，IC China对海内外的手艺专家和企业向导人具有极大的吸引力，，，，，，，，同时为半导体制造前沿手艺的深入讨论提供了平台。。。。。。。我们很兴奋能在这次展会上宣布BBIN视讯-娱乐游戏官网新一代刻蚀装备。。。。。。。这些装备都具有领先的奇异立异，，，，，，，，能够解决随着手艺前进和质料深度整合泛起的新的手艺障碍。。。。。。。这些装备也能为芯片生产商带来显著的本钱竞争优势，，，，，，，，创立更多价值。。。。。。。”

Primo SSC AD-RIE具有卓越的工艺控制无邪性，，，，，，，，带来更高产能及更佳芯片加工效果

Primo SSC AD-RIE是BBIN视讯-娱乐游戏官网公司最新的介质刻蚀装备。。。。。。。它在BBIN视讯-娱乐游戏官网和国际领先的半导体芯片制造商的相助中开发而成，，，，，，，，能够实现超高产能、较好的芯片加工质量和芯片晌蚀手艺可延展性等严苛的手艺目的。。。。。。。该装备的晶圆转达平台可设置多达6个单芯片加工反应器，，，，，，，，每个反应器可以自力地优化加工条件，，，，，，，，以实现差别工艺控制的无邪性。。。。。。。每个反应器的分子泵有极高的抽速，，，，，，，，对包括压力、流量、射频功率以及温度在内的主要参数有很好的调理作用，，，，，，，，而并行工艺准确控制能实现反应器之间的优异匹配度。。。。。。。更佳的反应器之间匹配能够提高刻蚀的重复性，，，，，，，，从而提高生产效率。。。。。。。

接纳Primo SSC AD-RIE，，，，，，，，客户可以获得更先进的工艺、卓越的芯片加工性能、手艺可延展性和本钱竞争优势。。。。。。。

Primo SSC AD-RIE特点和优势

超高速涡轮分子泵和大抽气通道，，，，，，，，可以爆发高流量、低压力，，，，，，，，有利于高深宽比（HAR）刻蚀；；；；；；；；

极高功率的低频射频偏压电源。。。。。。。7kW 2MHz偏压功率可以提供更高的离子能量，，，，，，，，团结可以选配的脉冲射频功率电源一起，，，，，，，，可以提高在高深宽比（HAR）刻蚀中各向异性刻蚀的性能；；；；；；；；

配备较大的射频接地面积、爆发更高的直流偏压，，，，，，，，可以爆发更高的离子能量和更佳的刻蚀偏向性；；；；；；；；

双区控温的静电吸盘配有双区温控装备，，，，，，，，可以提高温度和匀称性控制，，，，，，，，并且更有用地散热；；；；；；；；

除三区的气体漫衍系统（中心、边沿和极端边沿）和配备两路可以自力控制中心、边沿和极端边沿区域细腻调解的气体，，，，，，，，再团结双区控温的静电吸盘一起，，，，，，，，产品反应器可以实现要害尺寸匀称性的细密控制；；；；；；；；

选配的硅片边沿工艺套件，，，，，，，，可以提高硅片极端边沿的刻蚀匀称性，，，，，，，，实现更好的要害尺寸匀称性和更优化的刻蚀剖面，，，，，，，，提高整体硅片良率。。。。。。。

Primo TSV300E?：用于硅深孔刻蚀的先进刻蚀装备

Primo TSV300E?不但拥有前一代装备TSV200E?的手艺立异点，，，，，，，，还拓展了工艺规模。。。。。。。具有双反应台的反应器既可以单独加工单个晶圆片，，，，，，，，又可以同时加工两个晶圆片。。。。。。。该刻蚀装备可装置多达6个加工反应台（即3个双反应器），，，，，，，，这使得芯片产出能力险些翻了一倍，，，，，，，，并降低了加工本钱，，，，，，，，关于注重节约本钱的客户来说无疑是不二之选。。。。。。。

区别于Primo TSV200E?，，，，，，，，Primo TSV300E? 配备了高效能冷却系统的5kW高功率电源，，，，，，，，可以提高工艺的调解能力，，，，，，，，同时它还具有奇异的气体快速切换装置，，，，，，，，可以使通孔刻蚀的侧壁越发平滑。。。。。。。产品应用了电感耦合等离子体源，，，，，，，，反应器可以用于深硅刻蚀和非博世工艺。。。。。。。

Primo TSV300E?尚有一项主要的手艺立异点，，，，，，，，它可以和BBIN视讯-娱乐游戏官网的Primo D-RIE?刻蚀装备无邪团结，，，，，，，，混淆设置出具备在统一平台举行等离子体刻蚀和TSV硅通孔刻蚀能力的装备。。。。。。。这种无邪的安排带来了手艺最优化和本钱的竞争优势。。。。。。。

Primo TSV300E?特点和优势

配备高效能冷却系统的5kW功率射频电感耦合等离子体源功率电源，，，，，，，，可以提高工艺的调解能力；；；；；；；；

有自主知识产权的气体漫衍系统，，，，，，，，可以在宽阔的工艺规模内显著提高刻蚀匀称性；；；；；；；；

奇异的气体快速切换装置，，，，，，，，可以使通孔刻蚀的侧壁越发平滑；；；；；；；；

400KHz脉冲式和一连的偏压射频电源，，，，，，，，可以消除刻蚀工艺历程中爆发的通孔形状的畸变，，，，，，，，同时扩展工艺的可调性，，，，，，，，提高装备性能的可预见性；；；；；；；；

反逆流屏障环可以平衡等离子体屏障，，，，，，，，避免气体反应后反向扩散；；；；；；；；

尺寸可变的气体集聚环可以优化刻蚀匀称性，，，，，，，，同时拓宽工艺窗口和规模。。。。。。。

IC China半导体展会和论坛将于2012年10月23日至25日在上海世博展览馆1号馆举行，，，，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网公司除将召开手艺立异和向导人聚会外，，，，，，，，IC China展会时代还在B04展位设有展台，，，，，，，，接待莅临旅行。。。。。。。

关于BBIN视讯-娱乐游戏官网半导体装备（上海）有限公司

BBIN视讯-娱乐游戏官网公司致力于为全球芯片生产厂商和相关高科技领域的天下领先公司提供一系列高端的芯片生产装备。。。。。。。公司拥有业内履历最富厚的治理和手艺专家，，，，，，，，已形成强有力的市场驱动力，，，，，，，，一连拓展产品线以知足种种新兴的手艺需求。。。。。。�？？？？？？？突д窃擞昧薆BIN视讯-娱乐游戏官网先进的刻蚀装备和手艺，，，，，，，，制造了电子产品中最为要害的芯片器件。。。。。。。BBIN视讯-娱乐游戏官网的高端装备在65、45、40、28、26纳米及以下的芯片生产领域实现了手艺立异和生产力提高的最优化。。。。。。。BBIN视讯-娱乐游戏官网公司以亚洲为基地，，，，，，，，总部位于中国，，，，，，，，其研发、制造、销售和客户效劳机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。。。。。。。

更多信息请会见公司网站：www.amec-inc.com

Primo D-RIE、Primo AD-RIE、Primo TSV200E和 Primo TSV300E为BBIN视讯-娱乐游戏官网公司注册商标。。。。。。。